一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
文献类型：专利
| 作者 | 王钻开 ; 陆德仁 ; 黄全平 |
| 发表日期 | 2003-06-25 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1425922 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；下盖板与质量 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-06-25 |
| 申请日期 | 2002-08-30 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02136742.6 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47809]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开,陆德仁,黄全平. 一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器. CN1425922. 2003-06-25. |
入库方式： OAI收割
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