一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构
文献类型：专利
| 作者 | 吴根柱 ; 齐鸣 ; 张永刚 ; 李爱珍 |
| 发表日期 | 2003-03-05 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1400698 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近1.8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60％，减小阈值电流20-50％，并且有良好的化学稳定性、热稳 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-03-05 |
| 申请日期 | 2002-08-23 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02136624.1 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47863]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴根柱,齐鸣,张永刚,等. 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构. CN1400698. 2003-03-05. |
入库方式： OAI收割
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