一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 李铁 ; 杨艺榕 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2002-07-17 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1359017 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构；阶梯结构底电极台阶数至少大于或等于2，阶梯底电极与微镜的角度由台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分别设置扭梁并进行二维嵌套，可方便地扩展为二维转动微镜。其制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀，或用DRIE干法刻蚀，或用这二种方法组合制作，然后将阶梯电极和微镜对准、安装。所用的材料为单晶硅或SOI材料，本发明综合了现有技术中倾斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2002-07-17 |
| 申请日期 | 2001-12-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 01139287.8 |
| 专利代理 | 潘振∴ |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47871]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李铁,杨艺榕,王跃林. 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法. CN1359017. 2002-07-17. |
入库方式： OAI收割
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