硅微机械压力开关、制作方法及其应用
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 荆二荣 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2008-07-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101226850 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及硅微机械压力开关、制作方法及其应用。其特征在于所述的 压力开关包括上下两个电极，两电极间有二氧化硅作为绝缘层进行隔离，上 电极包括空气腔，硅弹性薄膜，节流孔，框架；下电极包括导流孔。其特征 在于湿法腐蚀硅可同时形成空气腔和硅弹性薄膜；所有结构都由硅材料构成， 便于实现和制动电路的集成。使用了选择性很好的干法刻蚀形成节流孔和框 架，能精确控制节流孔的尺寸。将所述的压力开关安装在每一个轮胎中，当轮 胎爆胎后，该开关能迅速闭合，从而接通轮胎制动装置电路，使轮胎快速制 动。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2008-07-23 |
| 申请日期 | 2008-01-22 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810032861.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/47965]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,荆二荣,王跃林. 硅微机械压力开关、制作方法及其应用. CN101226850. 2008-07-23. |
入库方式： OAI收割
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