用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁
文献类型：专利
| 作者 | 李昕欣 ; 韩建强 ; 鲍敏杭 ; 杨恒 ; 沈绍群 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2005-03-02 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1587024 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供了一种利用掩膜-无掩膜腐蚀技术实现AFM悬臂梁和探针一次成型的制作方法。其特征在于在腐蚀过程中，探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀，而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀，当探针针尖的直径达到预定值时，梁的厚度达到设定值。本发明所涉及的各向异性湿法腐蚀工艺一次成型AFM探针和悬臂梁的制作方法具有以下优点。(1)制作工艺简单：仅采用了常规的光刻工艺和湿法各向异性腐蚀工艺，对工艺设备要求较低、简便易行，降低了产品成本，提高了成品率；(2)采用SOI硅片的顶层硅的下表面作为光反射面，与重掺杂自停止腐蚀形成的表面相比更平整 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2005-03-02 |
| 申请日期 | 2004-09-17 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200410066491.6 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48041]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李昕欣,韩建强,鲍敏杭,等. 用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁. CN1587024. 2005-03-02. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。