翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 焦继伟 ; 邢向龙 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2005-03-02 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1588602 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及其制作方法。由第一基板上的第一凹部、位于第一凹部底部以及第一基板表面上的第一波导线、第一凹部底部的第一吸引电极、第一基板表面上的转换导体、第二基板上的第二凹部、位于第二凹部底部以及第二基板表面上的第二波导线、第二凹部底部的第二吸引电极、悬于第一凹部和第二凹部之间的翘曲弹性介质膜、翘曲弹性介质膜上的驱动导电膜以及其上的第二介质膜构成的复合膜组成。翘曲弹性介质膜内含有不大于100MPa的预置压应力。在稳定状态，复合膜与某一路波导线表面接触，使该路信号保持 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2005-03-02 |
| 申请日期 | 2004-09-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200410066370.1 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48049]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 焦继伟,邢向龙,王跃林. 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法. CN1588602. 2005-03-02. |
入库方式： OAI收割
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