二氟化氙气体腐蚀过程中锚的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 冯飞 ; 熊斌 ; 杨广立 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2006-07-26 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1807221 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种XeF2腐蚀过程中锚的制作方法，其特征在于将SiO2、SiNx、SiC、Au、 Al及Cr等XeF2气体几乎不腐蚀的材料淀积在要保护的锚周围，形成所需要的锚；或者直 接采用XeF2气体几乎不腐蚀的材料来制作锚。锚结构有五种：锚由硅材料和覆盖在其周围 的保护层材料构成；锚由硅材料、覆盖在其周围的保护层材料及填充层材料构成；锚由保护 层材料及填充层材料构成；锚是由保护层材料构成的柱体；锚是由保护层材料构成的薄 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2006-07-26 |
| 申请日期 | 2005-12-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200510112298.6 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48141]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,熊斌,杨广立,等. 二氟化氙气体腐蚀过程中锚的制作方法. CN1807221. 2006-07-26. |
入库方式： OAI收割
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