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提高印刷法制备碳纳米管薄膜场致电子发射性能的方法

文献类型:专利

作者冯涛 ; 王曦 ; 戴丽娟 ; 蒋军 ; 柳襄怀
发表日期2006-07-26
专利国别中国
专利号CN1808670
专利类型发明
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中文摘要本发明提供一种提高印刷法制备的碳纳米管(CNT)薄膜阴极的场致电子发射性能的处 理方法,通过二次热处理工艺与表面提拉工艺,除去CNT薄膜中所含的杂质,在CNT与 衬底间形成良好的机械接触和电接触,并使表面CNT垂直于衬底表面,从而使CNT薄膜 的场致电子发射性能得到显著改善,即使电子发射的阈值场强降低了2倍多,发射电流密 度提高25~30倍左右,电子发射的点密度提高3个数量级以上且均匀性明显提高。
是否PCT专利
公开日期2006-07-26
申请日期2005-12-16
语种中文
专利申请号200510111620.3
专利代理潘振甦
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48143]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
冯涛,王曦,戴丽娟,等. 提高印刷法制备碳纳米管薄膜场致电子发射性能的方法. CN1808670. 2006-07-26.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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