一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 冯飞 ; 熊斌 ; 杨广立 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2006-08-16 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1819291 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种新的基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法，其特征在于 采用硅作为牺牲层，采用SiO2、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF2气体几乎不腐蚀的材料来 制作像素的双材料支撑梁和红外敏感部分，采用SiO2、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF2 气体几乎不腐蚀的材料制作锚或对锚进行保护，最后采用XeF2气体腐蚀硅牺牲层释放像 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2006-08-16 |
| 申请日期 | 2005-12-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200510112299.0 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48153]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,熊斌,杨广立,等. 一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法. CN1819291. 2006-08-16. |
入库方式： OAI收割
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