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室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法

文献类型:专利

作者冯飞 ; 王跃林 ; 杨广立 ; 熊斌 ; 焦继伟
发表日期2005-11-23
专利国别中国
专利号CN1699939
专利类型发明
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中文摘要本发明涉及一种室温F-P红外探测器阵列及制作方法,其特征在于硅基 底和可动微镜之间构成了红外谐振腔,可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构 成F-P腔。其制作特征在于采用普通硅片,首先通过腐蚀硅确定F-P腔的长 度,通过制作牺牲层确定红外谐振腔的长度,在牺牲层上淀积氮化硅、铝或 金薄膜,光刻并刻蚀出微镜图案,随后去掉牺牲层材料,释放可动微镜,最 后在真空中作硅-玻璃键合,形成F-P腔。本发明的优点在于:采用体硅与表 面牺牲层技术相结合的工艺,可方便的制作出符合要求的红外谐振腔和F-P 腔,提高了器件的红外探测性
是否PCT专利
公开日期2005-11-23
申请日期2005-06-15
语种中文
专利申请号200510026743.7
专利代理潘振甦
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48179]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
冯飞,王跃林,杨广立,等. 室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法. CN1699939. 2005-11-23.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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