微机械电容式加速度传感器及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 范克彬 ; 车录峰 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-05-09 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1959417 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器及制作方法，属于微电子机 械系统领域。其特征在于，最为关键的就是通过可动质量块上下两面的弹性 梁交错分布，不重合，呈90°交叉或平行分布的设计，利用各向异性腐蚀技 术，在(100)单晶硅片上实现在无凸角补偿下矩形质量块的形成，同时在质量 块的上下两面形成直弹性梁结构。利用一般的硅硅键合技术实现了三层硅片 的键合。在上电极和中间电极引出的制作上，通过可动质量块电极引出通孔 和屋檐形遮挡台在一步淀积上电极和可动电极的引线盘的同时，也实现了两 个电极之间的电信号隔离。本发明 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-05-09 |
| 申请日期 | 2006-11-17 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610118484.5 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48377]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,范克彬,车录峰,等. 微机械电容式加速度传感器及制作方法. CN1959417. 2007-05-09. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。