微机械热电堆红外探测器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 杨恒昭 ; 李铁 ; 王翊 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-05-09 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1960017 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其制作方法，其特征在于作 为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法 刻蚀从正面腐蚀衬底形成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架 中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区，支撑臂连接框架和红 外吸收区并承载热电堆；中间悬浮的红外吸收层带有不同形状的腐蚀开口， 作为干法刻蚀工作气体进入衬底进行反应的通道。采用了标准CMOS工艺 中最常见的材料，便于实现和信号处理电路的集成。使用了选择性很好的干 法刻蚀形成红外吸收层，相比传统的湿法腐 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-05-09 |
| 申请日期 | 2006-11-17 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610118474.1 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48379]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,杨恒昭,李铁,等. 微机械热电堆红外探测器及其制作方法. CN1960017. 2007-05-09. |
入库方式： OAI收割
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