扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
文献类型：专利
| 作者 | 金大重 ; 李昕欣 |
| 发表日期 | 2007-07-11 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1994860 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种工作在扭转模态下的谐振式微机械悬臂梁传感器及其 电磁激励结构、制作方法及应用。其特征在于通过采用与悬臂梁扭转谐振模 态的振形相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与悬臂梁扭转方向相同的洛 仑兹力力矩激励起悬臂梁的扭转模态，即依据扭转模态振形曲线的极值位移 点和不发生位移的振动节点位置布置驱动线圈，使交变驱动电流在各处均产 生与悬臂梁扭转方向相同的洛仑兹力力矩，使驱动方式与扭转模态的振形完 全匹配。本发明特点是结构简单、制作方便、容易实现。所述的传感器用于 对肝癌早期预警的AFP抗原痕量检测一阶和 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-07-11 |
| 申请日期 | 2006-12-22 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610147846.3 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48399]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金大重,李昕欣. 扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用. CN1994860. 2007-07-11. |
入库方式： OAI收割
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