一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
文献类型：专利
| 作者 | 王良咏 ; 张楷亮 ; 宋志棠 ; 封松林 |
| 发表日期 | 2007-08-15 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101016439 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光浆液，此浆液包含pH 调节剂、表面活性剂、水性介质及一种复合研磨颗粒。该复合研磨粒子是由 基材颗粒碳化硼表面包覆一层粒子所构成。通过本发明提供的化学机械抛光 浆液，蓝宝石衬底的抛光速率达到了180nm/min，表面粗糙度降低到了7.5 以下，蓝宝石的表面质量和加工效率得到了有效的提高。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-08-15 |
| 申请日期 | 2007-02-06 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710037163.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48427]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王良咏,张楷亮,宋志棠,等. 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液. CN101016439. 2007-08-15. |
入库方式： OAI收割
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