对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 车录锋 ; 徐玮鹤 ; 熊斌 ; 戈肖鸿 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-09-19 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101038298 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其 特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量 块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组 成。每根直弹性梁的一端连接在与弹性梁平行的质量块顶端或底端侧面，另 一端连接到与弹性梁垂直的外部支撑框架内侧面。本发明提供的对称直梁结 构电容式加速度传感器可以在显著减小横向效应的同时提高灵敏度，采用微 电子机械系统工艺制作，是一种高性能的微机械加速度传感器。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-09-19 |
| 申请日期 | 2007-03-16 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710038123.4 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48447]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,徐玮鹤,熊斌,等. 对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法. CN101038298. 2007-09-19. |
入库方式： OAI收割
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