一种应用于生物微质量检测的硅基压电薄膜传感器及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 宋志棠 ; 刘卫丽 ; 言智 ; 张挺 ; 程建功 ; 封松林 ; 赖立辉 ; 陈建照 |
| 发表日期 | 2007-10-03 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101046457 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种用于生物微质量检测的硅基压电薄膜传感器及制备方 法。本发明特征是在(100)取向的硅片上，先后沉积具有λ/4(λ为波长) 厚度的Bragg反射层；接着在Bragg反射层上沉积压电薄膜层和金电极层； 采用相关电极图形化工艺，在其上制作与标准微波测量相匹配的电极结构； 经相关退火温度得到硅基压电薄膜传感器；在硅基压电薄膜传感器上先后涂 敷系列生物探针，结合清洗后，采用三明治夹心技术点样特异性结合生物体 微量，可测出传感器谐振频率的相应变化。进而由相应公式换算得到待测生 物体的微质量。这种多功能集 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-10-03 |
| 申请日期 | 2007-05-08 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710040418.5 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48461]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋志棠,刘卫丽,言智,等. 一种应用于生物微质量检测的硅基压电薄膜传感器及制作方法. CN101046457. 2007-10-03. |
入库方式： OAI收割
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