一种柔性电容式触觉传感器的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 车录锋 ; 肖素艳 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-10-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101059380 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔 性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备， 金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介 电层PI的形成，金属驱动电极及其电连接的图形化，最上层柔性绝缘保护 层PI的图形化和柔性电容式触觉传感器的分离。本发明通过工艺的优化整 合，实现了有机柔性材料PDMS及PI与传统MEMS工艺之间的兼容性。所 制作的电容式触觉传感器结构轻薄，机械强度高，可挠性好，可贴附在任意 曲率表面同时感受法向力和切向 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-10-24 |
| 申请日期 | 2007-02-16 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710037606.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48477]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,肖素艳,李昕欣,等. 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法. CN101059380. 2007-10-24. |
入库方式： OAI收割
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