用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法
文献类型：专利
| 作者 | 许科峰 ; 杨恒 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-10-31 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101062761 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工 方法，其特征在于利用(100)晶向硅材料各向异性腐蚀特性，纳米梁形成 后腐蚀即自动停止；形成梁的横截面为直角三角形，所述直角三角形的斜而 为(111)面，侧面是(110)面，底面是(100)面，梁的斜面和底面宽度 由梁的高度决定，是用氧化法进行控制的。本发明巧妙利用各向异性干法腐 蚀特性和硅各向异性湿法腐蚀特性，只需一块光刻版就可实现纳米梁结构的 加工。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-10-31 |
| 申请日期 | 2006-12-27 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610148119.9 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48479]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许科峰,杨恒,王跃林. 用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法. CN101062761. 2007-10-31. |
入库方式： OAI收割
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