一种柔性温度传感器的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 车录锋 ; 肖素艳 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2007-12-05 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101082523 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法。其特征在于首先在载体 硅片上涂覆一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)中间夹层，在室温固化后，用氧 等离子体活化其表面；紧接着在上面重叠涂覆高粘度聚酰亚胺(PI)预聚体 并用阶梯式工艺进行预固化，其后在上面重叠沉积所有金属层，并依次用剥 离技术和湿法腐蚀图形化形成金属温敏电阻及电连接；再在最上层涂覆一薄 层低粘度PI保护膜，用湿法刻蚀露出金属压焊块部分；然后将器件放在热 板上并将柔性载体上的中间夹层剥下来，最后将分离后的柔性器件置于烘箱 中以完全固化两PI膜层，这样实现了 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-12-05 |
| 申请日期 | 2007-06-27 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710042881.3 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48503]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,肖素艳,李昕欣,等. 一种柔性温度传感器的制作方法. CN101082523. 2007-12-05. |
入库方式： OAI收割
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