对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器
文献类型：专利
| 作者 | 车录锋 ; 李伟 ; 林友玲 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2011-07-20 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102128953A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器。所述的加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称倾斜折叠梁结构以及上、下盖板组成。对称的中心质量块由顶端质量块和底端质量块键合组成，每根倾斜折叠梁的内脚连接在中心质量块侧面的顶端或底端，外脚连接在外部支撑框架内侧面，整个结构上下对称。本加速度传感器的特点是弹性梁采用对称倾斜折叠梁结构，同时具有一定的对称性，有效的抑制了传感器的交叉轴灵敏度。微加速度传感器采用微电子机械系统技术制作，使器件能够形成更大尺寸的 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2011-07-20 |
| 申请日期 | 2010-12-10 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201010583972.X |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48523]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,李伟,林友玲,等. 对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器. CN102128953A. 2011-07-20. |
入库方式： OAI收割
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