一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法
文献类型:专利
作者 | 李刚 ; 朱壮晖 ; 周亮 ; 赵建龙 |
发表日期 | 2011-09-14 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN102179000A |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
中文摘要 | 本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法,该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层,结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极,基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性,且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点,可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性,有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比,具有工艺简单、成本低、可重复 |
是否PCT专利 | 是 |
公开日期 | 2011-09-14 |
申请日期 | 2011-03-09 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 201110056408.7 |
专利代理 | 潘振甦 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48565] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李刚,朱壮晖,周亮,等. 一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法. CN102179000A. 2011-09-14. |
入库方式: OAI收割
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