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一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法

文献类型:专利

作者李刚 ; 朱壮晖 ; 周亮 ; 赵建龙
发表日期2011-09-14
专利国别中国
专利号CN102179000A
专利类型发明
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中文摘要本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法,该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层,结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极,基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性,且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点,可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性,有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比,具有工艺简单、成本低、可重复
是否PCT专利
公开日期2011-09-14
申请日期2011-03-09
语种中文
专利申请号201110056408.7
专利代理潘振甦
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48565]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
李刚,朱壮晖,周亮,等. 一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法. CN102179000A. 2011-09-14.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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