一种扭转梁大位移的微机械光开关
文献类型：专利
| 作者 | 王浙辉 ; 李铁 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2003-08-27 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2569170 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种微机械光开关，属于微机械领域。其特征在于(1)上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；(2)4个V型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈45度角；扭转梁通过扭转梁固定点固定于外框架底部，扭转梁和可动上电极相连；镜子竖直位于可动上电极的前端；(3)下电极固定在低于外框架的表面的平面面上，形成一个空间。当上外框架叠在其上并施加电压时，上、下电极间产生电压差，使上电极受到向下运动的力带动扭转梁产生扭力使镜子向下移 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-08-27 |
| 申请日期 | 2002-04-22 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02216985.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48647]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浙辉,李铁,王跃林. 一种扭转梁大位移的微机械光开关. CN2569170. 2003-08-27. |
入库方式： OAI收割
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