一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
文献类型：专利
| 作者 | 王钻开 ; 陆德仁 ; 黄全平 |
| 发表日期 | 2003-09-03 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2570793 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2003-09-03 |
| 申请日期 | 2002-08-30 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 02266744.X |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48651]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开,陆德仁,黄全平. 一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器. CN2570793. 2003-09-03. |
入库方式： OAI收割
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