聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 赵建龙 ; 邹志青 ; 周天 ; 陈飞 ; 徐元森 |
| 发表日期 | 2004-12-08 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1552887 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法。结构设计特征在于以硅片作为芯片的基片，在硅片正面刻蚀微池，上面键合Pyrex硼硅玻璃，形成密闭的微腔；玻璃上有进出孔，微型的加热器和温度待热器在硅片反面。其制作特征在于包括PCR微芯片的制作和PCR微芯片的封装两部分。采用倒装焊接工艺很容易实现PCR微芯片阵列，在同一块PCB板上倒装焊接多个相同的PCR微芯片，形成PCR微芯片阵列。本发明优点在于提供的PCR微芯片结构设计体积小，热容低，同时集成了微型加热器和温度传感器；封装采用IC工艺的倒装焊法且有 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2004-12-08 |
| 申请日期 | 2003-12-19 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200310122607.9 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48725]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵建龙,邹志青,周天,等. 聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法. CN1552887. 2004-12-08. |
入库方式： OAI收割
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