一种磁性微结构的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 封松林 ; 王聿佶 ; 金庆辉 ; 程建功 ; 赵建龙 |
| 发表日期 | 2008-01-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101108721 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种磁性微结构的制作方法，其特征在于包括多层模具的制 作和磁性微结构制作两部分。前者包括用标准RCA清洗工艺清洗硅片，在 硅片表面甩涂多层SU-8光刻胶，前烘，光刻，后烘显影得到多层SU-8模具； 然后本发明通过在多层模具中直接填充磁性粉末，在PDMS芯片铸模成型的 同时，在芯片内部形成磁性微柱结构。利用所提供的制作方法，可以省却电 镀工艺，在微流体芯片内快速地制作磁性微结构。制作微结构高度在几微米 至几百微米之间，由甩涂SU-8光刻胶层数决定，且所述的磁性微结构为微 柱、微线条、微环或微线圈中 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2008-01-23 |
| 申请日期 | 2007-06-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710042104.9 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48767]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 封松林,王聿佶,金庆辉,等. 一种磁性微结构的制作方法. CN101108721. 2008-01-23. |
入库方式： OAI收割
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