L形梁压阻式微加速度计及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 高廷金 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2008-09-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101271124 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种L梁压阻式微型加速度计及其制作方法，包括支撑主框 架体、弹性梁、质量块、盖板等，其特征在于所述的汤型梁呈L形，L形弹 性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过L形弹性梁支撑悬于支 撑边框体的中间，L形弹性梁的短臂与质量块上表面的顶角相连；支撑主框 架体的上、下两面粘合有盖板；L形梁的长臂的根部和顶端各设置有压敏电 阻，每根L形梁上的两个阻值相等的压敏电阻组成惠斯顿电桥的单边应变的 电桥。采用微电子机械加工技术作为关键制作技术。解决现有压阻式微加速 度计不能同时满足灵敏度高、体积小、成本 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2008-09-24 |
| 申请日期 | 2008-05-16 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810037511.5 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48819]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,高廷金,车录锋,等. L形梁压阻式微加速度计及其制作方法. CN101271124. 2008-09-24. |
入库方式： OAI收割
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