集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 杨恒昭 ; 徐德辉 ; 刘米丰 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2009-07-08 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101476941 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种集成微机械热电堆红外探测系统及制作方法，所述的系 统包括热电堆探测器和信号处理电路两大部分。其中信号处理电路包括前置 放大器，带通滤波器，主放大器和振荡器四部分。特征在于实现了热电堆探 测器和信号处理电路的单片集成设计和制作。使用标准的CMOS工艺同时制 作热电堆探测器和信号处理电路，实现了MEMS传感器和CMOS电路的兼 容。系统中的热电堆探测器结构，包括(硅)基体，框架，热电偶，支撑臂， 红外吸收层，腐蚀开口等六部分；中间悬浮的红外吸收层可以带有不同形状 的腐蚀开口，干法刻蚀工作气体通过 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2009-07-08 |
| 申请日期 | 2008-11-04 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810202157.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49009]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,杨恒昭,徐德辉,等. 集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法. CN101476941. 2009-07-08. |
入库方式： OAI收割
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