一种纳米结构的软模板制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 周伟民 ; 张静 ; 刘彦伯 ; 李小丽 ; 钮晓鸣 ; 宋志棠 ; 闵国全 ; 万永中 ; 施利毅 ; 封松林 |
| 发表日期 | 2009-11-18 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101581878 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 上海市纳米科技与产业发展促进中心 ; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明是关于一种软压印模板的制造方法。其特征在于：通过多孔阳极氧 化铝(AAO)模板复制出软模板。多孔阳极氧化铝孔径一般为10～500nm，孔洞 较直分布均匀，作为母模板可以复制出高分辨率和高复型精度的软模板，减少 了模板的制作成本和周期。本发明的显著特点是制作模板成本低廉，周期短， 工艺简单，复制出来的软模板可以重复使用，能够实现大面积压印。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2009-11-18 |
| 申请日期 | 2008-05-13 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810037349.7 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49107]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周伟民,张静,刘彦伯,等. 一种纳米结构的软模板制作方法. CN101581878. 2009-11-18. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。