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一种可调节垂直栅SOI CMOS器件沟道电流的叉指型结构

文献类型:专利

作者程新红 ; 何大伟 ; 俞跃辉 ; 肖德元 ; 王中健 ; 徐大朋
发表日期2010-06-30
专利国别中国
专利号CN101764136A
专利类型发明
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ; 上海新傲科技股份有限公司
中文摘要本发明公开了一种可调节垂直栅SOI??CMOS器件沟道电流的叉指型结构,其由多个垂直栅SOI??CMOS器件并列排布而成,其中相邻的垂直栅SOI??CMOS器件的PMOS区与PMOS区相邻,NMOS区与NMOS区相邻;所有垂直栅SOICMOS器件的源区位于同一侧,漏区位于另一侧;所有垂直栅SOI??CMOS器件的栅极从侧面引出形成叉指栅极。相邻的PMOS区共用一个体电极,相邻的NMOS区共用一个体电极,所有体电极并行相连形成叉指体电极。所有源区引出的源极并行连接形成叉指源极;所有漏区引出的漏极并行连接形成
是否PCT专利
公开日期2010-06-30
申请日期2009-12-24
语种中文
专利申请号200910200719.9
专利代理余明伟 ; 尹丽云
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49336]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
程新红,何大伟,俞跃辉,等. 一种可调节垂直栅SOI CMOS器件沟道电流的叉指型结构. CN101764136A. 2010-06-30.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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