一种纳米结构压印硬模板
文献类型：专利
| 作者 | 刘彦伯 ; 钮晓鸣 ; 宋志棠 ; 闵国全 ; 周伟民 ; 张静 ; 万永中 ; 张挺 ; 李小丽 ; 张剑平 ; 施利毅 ; 刘波 ; 封松林 |
| 发表日期 | 2010-07-07 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101770164A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 上海市纳米科技与产业发展促进中心 ; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种纳米结构压印硬模板，属于纳米制造领域。其特征在于：利用多孔阳极氧化铝(AAO)膜技术制备硬质材料基底多孔模板，通过增加硬质基底和表面修饰处理后直接作压印(自上而下)模板。多孔阳极氧化铝膜可以自组织生长成六度对称的有序多孔结构，孔洞陡直且分布均匀，用它作为模板通过热蒸发、溅射和沉积以及电化学组装等定向组装(自下而上)的加工方法已经制备出各种具有光学、电学和磁学等性能的纳米结构和器件。本发明通过增加硬质材料基底和表面修饰处理将AAO模板技术移植到自上而下的表面微结构加工领域，这种纳米级高密度结构 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2010-07-07 |
| 申请日期 | 2009-01-06 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910044948.6 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49338]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘彦伯,钮晓鸣,宋志棠,等. 一种纳米结构压印硬模板. CN101770164A. 2010-07-07. |
入库方式： OAI收割
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