一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 徐德辉 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2010-07-14 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101776483A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法，其特征在于在非致冷热电堆红外探测器中的红外吸收区上制作了一个微型加热器。由于微型加热器的制作工艺与热电堆的制作工艺完全兼容，两者实现了同一芯片集成。利用微型加热器对封装后红外探测器的热传导进行测量，实现了对封装后器件的真空度的测量；利用微型加热器模拟热电堆红外探测器的工作状态，实现了探测器红外性能圆片级自检测功能。本发明可用于批量生产，不仅可以对圆片级键合真空封装这一关键工艺步骤进行监测，还以在圆片级对探测器的红外性能进行测量，提高器件测试的效率，降低测试成 |
| 公开日期 | 2010-07-14 |
| 申请日期 | 2009-12-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910247354.5 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49350]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,徐德辉,王跃林. 一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法. CN101776483A. 2010-07-14. |
入库方式： OAI收割
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