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电阻转换存储器装置及其制造工艺

文献类型:专利

作者张挺 ; 宋志棠 ; 刘波 ; 封松林 ; 陈邦明
发表日期2010-08-04
专利国别中国
专利号CN101794808A
专利类型发明
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
是否PCT专利
中文摘要本发明揭示了一种电阻转换存储器装置及其制造工艺,所述电阻转换存储器装置通过双浅沟道隔离形成二极管阵列,深度不同的第一浅沟道与第二浅沟道非正交相交;第一浅沟道将第一导电类型的重掺杂导电半导体线分隔开,形成多根半导体线;第二浅沟道则在同一重掺杂导电半导体线上方隔离形成多个二极管;二极管对应所需选通的电阻转换存储器单元。
公开日期2010-08-04
申请日期2010-03-18
语种中文
专利申请号201010127295.0
专利代理王松
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49376]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
张挺,宋志棠,刘波,等. 电阻转换存储器装置及其制造工艺. CN101794808A. 2010-08-04.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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