电阻转换存储器装置及其制造工艺
文献类型:专利
作者 | 张挺 ; 宋志棠 ; 刘波 ; 封松林 ; 陈邦明 |
发表日期 | 2010-08-04 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN101794808A |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
是否PCT专利 | 是 |
中文摘要 | 本发明揭示了一种电阻转换存储器装置及其制造工艺,所述电阻转换存储器装置通过双浅沟道隔离形成二极管阵列,深度不同的第一浅沟道与第二浅沟道非正交相交;第一浅沟道将第一导电类型的重掺杂导电半导体线分隔开,形成多根半导体线;第二浅沟道则在同一重掺杂导电半导体线上方隔离形成多个二极管;二极管对应所需选通的电阻转换存储器单元。 |
公开日期 | 2010-08-04 |
申请日期 | 2010-03-18 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 201010127295.0 |
专利代理 | 王松 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49376] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张挺,宋志棠,刘波,等. 电阻转换存储器装置及其制造工艺. CN101794808A. 2010-08-04. |
入库方式: OAI收割
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