类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯涛 ; 茅东升 ; 李炜 ; 柳襄怀 ; 王曦 ; 张福民 ; 李琼 ; 徐静芳 ; 诸玉坤 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 图形化 场发射显示器 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 采用真空磁过滤弧沉积(FAD)的方法制备的类金刚石(DLC)薄膜具有良好的场发射性能。通过离子束技术和微细加工技术可以实现DLC薄膜的图形化并能大大提高薄膜的场发射性能。测试表明,DLC薄膜孔洞阵列具有很好的电子场发射性能,阈值电场达到了2.1V/μm,当场强为14.3V/μm时,电流密度达到了1.23mA/cm2。利用图形化的DLC薄膜作为阴极,设计和制作了矩阵选址单色场发射显示器(FED)样管。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49760]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯涛,茅东升,李炜,等. 类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制[J]. 功能材料与器件学报,2002(03). |
| APA | 冯涛.,茅东升.,李炜.,柳襄怀.,王曦.,...&诸玉坤.(2002).类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 冯涛,et al."类金刚石薄膜作为阴极阵列的场发射显示器研制".功能材料与器件学报 .03(2002). |
入库方式： OAI收割
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