高量程加速度计的力学性能分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王钻开 ; 宗登刚 ; 陆德仁 |
| 刊名 | 机械强度
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 埋氧层 绝缘体上硅 总剂量辐射效应 模型 背栅 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 中文摘要 | 提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试 ,结果与改进模型基本相符 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49773]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开,宗登刚,陆德仁. 高量程加速度计的力学性能分析[J]. 机械强度,2002(04). |
| APA | 王钻开,宗登刚,&陆德仁.(2002).高量程加速度计的力学性能分析.机械强度(04). |
| MLA | 王钻开,et al."高量程加速度计的力学性能分析".机械强度 .04(2002). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。