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Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究

文献类型:期刊论文

作者叶春暖 ; 汤乃云 ; 吴雪梅 ; 诸葛兰剑 ; 俞跃辉 ; 姚伟国
刊名功能材料与器件学报
出版日期2002
期号02
ISSN号1007-4252
中文摘要采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性。为探讨其发光机制,对薄膜的结构进行了表征。XRD、XPS、FTIR谱分析说明样品的发光特性与其结构相对应,394nmPL由GeO缺陷引起,580nmPL与Ge纳米晶粒和基质SiO2界面处的发光中心相联系。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49812]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
叶春暖,汤乃云,吴雪梅,等. Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究[J]. 功能材料与器件学报,2002(02).
APA 叶春暖,汤乃云,吴雪梅,诸葛兰剑,俞跃辉,&姚伟国.(2002).Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究.功能材料与器件学报(02).
MLA 叶春暖,et al."Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究".功能材料与器件学报 .02(2002).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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