高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄卫东 ; 彩霞 ; 徐步陆 ; 罗乐 ; 程兆年 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | 塑封材料 吸水 分层 液态水 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 对一种新型双悬臂梁高gn 值MEMS加速度传感器进行有限元模拟。采用双悬臂梁传感芯片的一种实际封装结构 ,进行频域分析和时域分析 ,讨论封合传感器芯片和封装基体的封合材料对其输出信号的影响。频域分析表明 ,封合材料的杨氏模量对封装后加速度传感器整体的振动模态有一定影响 ,封合胶的杨氏模量很小时 ,会致使加速度传感器的信号失真 ,模拟表明可选用杨氏模量足够高的环氧树脂类作高gn 值传感器的封合材料。时域分析静态模拟表明 ,封合材料的杨氏模量 ,对最大等效应力和沿加载垂直方向的正应力最大最小值基本无影响。时域 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49855]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄卫东,彩霞,徐步陆,等. 高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究[J]. 传感器技术,2002(06). |
| APA | 黄卫东,彩霞,徐步陆,罗乐,&程兆年.(2002).高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究.传感器技术(06). |
| MLA | 黄卫东,et al."高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究".传感器技术 .06(2002). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。