振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
文献类型:期刊论文
作者 | 车录锋 ; 熊斌 ; 王跃林 |
刊名 | 航空学报
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出版日期 | 2002 |
期号 | 03 |
关键词 | 静态测试 加速度传感器 微电子机械系统 灵敏度 频率 |
ISSN号 | 1000-6893 |
中文摘要 | 根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配 ,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸 ;根据建立的陀螺振动的等效电路模型 ,对检测振动的性能进行了模拟分析 ,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49856] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,熊斌,王跃林. 振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟[J]. 航空学报,2002(03). |
APA | 车录锋,熊斌,&王跃林.(2002).振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟.航空学报(03). |
MLA | 车录锋,et al."振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟".航空学报 .03(2002). |
入库方式: OAI收割
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