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振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟

文献类型:期刊论文

作者车录锋 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名航空学报
出版日期2002
期号03
关键词静态测试 加速度传感器 微电子机械系统 灵敏度 频率
ISSN号1000-6893
中文摘要根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配 ,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸 ;根据建立的陀螺振动的等效电路模型 ,对检测振动的性能进行了模拟分析 ,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49856]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
车录锋,熊斌,王跃林. 振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟[J]. 航空学报,2002(03).
APA 车录锋,熊斌,&王跃林.(2002).振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟.航空学报(03).
MLA 车录锋,et al."振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟".航空学报 .03(2002).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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