化学气相沉积金刚石膜的光学性质
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张继华 ; 李敬起 ; 孙亦宁 ; 郭晚土 ; 高欣 ; 雷青松 ; 王曦 ; 柳湘怀 |
| 刊名 | 兰州大学学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 化学镀镍金 凸点 均匀性 附着性能 |
| ISSN号 | 0455-2059 |
| 中文摘要 | 多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关 .采用一较为完备的金刚石透过率模型 ,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质 .并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对 CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响 ,计算结果与实测结果一致 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49889]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张继华,李敬起,孙亦宁,等. 化学气相沉积金刚石膜的光学性质[J]. 兰州大学学报,2003(02). |
| APA | 张继华.,李敬起.,孙亦宁.,郭晚土.,高欣.,...&柳湘怀.(2003).化学气相沉积金刚石膜的光学性质.兰州大学学报(02). |
| MLA | 张继华,et al."化学气相沉积金刚石膜的光学性质".兰州大学学报 .02(2003). |
入库方式： OAI收割
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