悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭方敏 ; 赖宗声 ; 朱自强 ; 贾铭 ; 初建朋 ; 范忠 ; 朱荣锦 ; 戈肖鸿 ; 杨根庆 ; 陆卫 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | 有机金属化合物 合金负极 中间相碳微球 锂离子电池 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 介绍了一种制作在低阻硅 (3～ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0～ 4 0 GHz) ;阈值电压为 13V ;开关处于“开通”态 ,插入损耗为 4～ 7d B(1～ 10 GHz) ,反射损耗为 - 15 d B.另外 ,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系 ,并应用 ANSYS软件对开关进行了电学、力 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49909]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭方敏,赖宗声,朱自强,等. 悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J]. 半导体学报,2003(11). |
| APA | 郭方敏.,赖宗声.,朱自强.,贾铭.,初建朋.,...&陆卫.(2003).悬臂式RF MEMS开关的设计与研制.半导体学报(11). |
| MLA | 郭方敏,et al."悬臂式RF MEMS开关的设计与研制".半导体学报 .11(2003). |
入库方式： OAI收割
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