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Fe-Zr-B非晶薄膜退火后的组织与性能

文献类型:期刊论文

作者徐炜新 ; 程新利 ; 金惠娟 ; 许裕生
刊名热处理
出版日期2003
期号04
关键词SIMON SOI 氮氧共注入
ISSN号1008-1690
中文摘要用直流磁控溅射法成功制备了Fe-Zr-B非晶薄膜。用X-射线衍射、透射电镜研究了薄膜不同退 火温度后的组织与性能。研究结果表明,薄膜在550℃退火时,其磁感应强度最高,主要原因是因为 其结构发生了有利于磁化的bcc相的转变。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49933]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
徐炜新,程新利,金惠娟,等. Fe-Zr-B非晶薄膜退火后的组织与性能[J]. 热处理,2003(04).
APA 徐炜新,程新利,金惠娟,&许裕生.(2003).Fe-Zr-B非晶薄膜退火后的组织与性能.热处理(04).
MLA 徐炜新,et al."Fe-Zr-B非晶薄膜退火后的组织与性能".热处理 .04(2003).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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