Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘文超 ; 李冰寒 ; 周健 ; 夏冠群 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 闪耀光栅 各向异性腐蚀 表面抛光 氧化削尖 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触,用传输线法对其比接触电阻进行了测试,并利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射图谱(XRD)对接触的微观结构进行了研究。结果表明该接触在700℃时比接触电阻为1.5×10~(-4)Ω·cm~2,快速合金化后呈现欧姆特性可能与接触界面处生成的TiAs相有关。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49941]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘文超,李冰寒,周健,等. Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究[J]. 功能材料与器件学报,2003(04). |
| APA | 刘文超,李冰寒,周健,&夏冠群.(2003).Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 刘文超,et al."Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究".功能材料与器件学报 .04(2003). |
入库方式： OAI收割
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