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栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

文献类型:期刊论文

作者付盛荣 ; 熊斌 ; 车录锋 ; 王跃林
刊名功能材料与器件学报
出版日期2003
期号04
关键词低通滤波器 光子带隙 微带线 时域有限差分法(FDTD) 缺陷接地结构
ISSN号1007-4252
中文摘要主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10°/s时,整个系统即无法分辨0.01°/s的输入角速度变化。针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49945]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
付盛荣,熊斌,车录锋,等. 栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究[J]. 功能材料与器件学报,2003(04).
APA 付盛荣,熊斌,车录锋,&王跃林.(2003).栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究.功能材料与器件学报(04).
MLA 付盛荣,et al."栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究".功能材料与器件学报 .04(2003).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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