大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董林玺 ; 焦继伟 ; 陈永 ; 王跃林 |
| 刊名 | 工程设计学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 直扩接收机 基带迟早门跟踪环 简化设计 部分序列相关器 |
| ISSN号 | 1006-754X |
| 中文摘要 | 设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49967]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董林玺,焦继伟,陈永,等. 大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响[J]. 工程设计学报,2003(05). |
| APA | 董林玺,焦继伟,陈永,&王跃林.(2003).大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响.工程设计学报(05). |
| MLA | 董林玺,et al."大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响".工程设计学报 .05(2003). |
入库方式： OAI收割
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