氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 易万兵 ; 陈猛 ; 陈静 ; 王湘 ; 刘相华 ; 王曦 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 氧化钒薄膜 离子束增强沉积 热电阻温度系数 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 实验研究了氢、氧复合注入对注氧隔离技术制备SOI(SiliconOnInsulator)材料埋层结构的影响。用截面透射电子显微镜和二次离子质谱技术分析了退火前后材料的微结构变化。研究表明,氢离子的注入有利于注氧隔离制备的SOI材料埋层的增宽。进一步的结果表明,室温氢离子注入导致的增宽效应比高温注入明显。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49973]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 易万兵,陈猛,陈静,等. 氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究[J]. 功能材料与器件学报,2003(01). |
| APA | 易万兵,陈猛,陈静,王湘,刘相华,&王曦.(2003).氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 易万兵,et al."氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究".功能材料与器件学报 .01(2003). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。