采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林羲 ; 何平 ; 田立林 ; 李志坚 ; 董业民 ; 陈猛 ; 王曦 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微桥 低压化学气相淀积 氮化硅 弹性模量 残余应力 弯曲强度 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 通过局域注氧工艺 ,在同一管芯上制作了 DSOI、体硅和 SOI三种结构的器件 .通过测量和模拟比较了这三种结构器件的热特性 .模拟和测量的结果证明 DSOI器件与 SOI器件相比 ,具有衬底热阻较低的优点 ,因而 DSOI器件在保持 SOI器件电学特性优势的同时消除了 SOI器件严重的自热效应 .DSOI器件的衬底热阻和体硅器件非常接近 ,并且在进入到深亚微米领域以后能够继续保持这一优势 . |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49983]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林羲,何平,田立林,等. 采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文)[J]. 半导体学报,2003(02). |
| APA | 林羲.,何平.,田立林.,李志坚.,董业民.,...&王曦.(2003).采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文).半导体学报(02). |
| MLA | 林羲,et al."采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文)".半导体学报 .02(2003). |
入库方式： OAI收割
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