大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王浙辉 ; 李铁 ; 王跃林 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 自动测试平台 虚似仪器 小卫星 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49987]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浙辉,李铁,王跃林. 大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作[J]. 功能材料与器件学报,2003(03). |
| APA | 王浙辉,李铁,&王跃林.(2003).大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 王浙辉,et al."大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作".功能材料与器件学报 .03(2003). |
入库方式： OAI收割
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