IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁宁一 ; 李金华 ; 李格 |
| 刊名 | 哈尔滨理工大学学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 遥感 遥测 软件 模块化 |
| ISSN号 | 1007-2683 |
| 中文摘要 | 采用离子束增强沉积(IBED)法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)在siO2/Si衬底上制备了具有半导体相-金属相转换特性的二氧化钒薄膜.对两种方法制备薄膜的性能测试结果表明,其转换温度、相变滞豫、热电阻温度系数等都有较大差别. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49991]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宁一,李金华,李格. IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响[J]. 哈尔滨理工大学学报,2003(05). |
| APA | 袁宁一,李金华,&李格.(2003).IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响.哈尔滨理工大学学报(05). |
| MLA | 袁宁一,et al."IBED和Sol-gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响".哈尔滨理工大学学报 .05(2003). |
入库方式： OAI收割
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