离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李金华 ; 袁宁一 ; 陈汉松 |
| 刊名 | 哈尔滨理工大学学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 高量程微机械加速度计 灌封 有限元分析 |
| ISSN号 | 1007-2683 |
| 中文摘要 | 用离子束增强沉积法从五氧化钒直接制备二氧化钒薄膜.750℃氮气退火后,薄膜的热电阻温度系数高达4.07％.高剂量的氢、氩混合束的注入使薄膜中的氧缺位较少,并在薄膜中引入了应力,使薄膜的温度-电阻曲线的斜率变大,可能是TCR增大的原因. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49993]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李金华,袁宁一,陈汉松. 离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数[J]. 哈尔滨理工大学学报,2003(05). |
| APA | 李金华,袁宁一,&陈汉松.(2003).离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数.哈尔滨理工大学学报(05). |
| MLA | 李金华,et al."离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数".哈尔滨理工大学学报 .05(2003). |
入库方式： OAI收割
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