传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王钻开 ; 陆德仁 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 注入氧隔离(SIMOX) 化学气相沉积 脊型光波导 集成光学 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进行接近2万g加速度峰值的一系列落杆冲击实验,都未见共振响应。同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰。该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为2×103g～2×105g的加速度传感器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49999]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开,陆德仁. 传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响[J]. 功能材料与器件学报,2003(02). |
| APA | 王钻开,&陆德仁.(2003).传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 王钻开,et al."传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响".功能材料与器件学报 .02(2003). |
入库方式： OAI收割
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