一种栅型结构微机械陀螺的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 熊斌 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 刊名 | 中国机械工程
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 成品率 flash ADC GaAs 蒙特卡罗 |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 中文摘要 | 介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作特性 ,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响。实验结果表明 ,在大气状态下 ,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子 Q均可达到 66 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50001]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,车录锋,王跃林. 一种栅型结构微机械陀螺的研究[J]. 中国机械工程,2003(03). |
| APA | 熊斌,车录锋,&王跃林.(2003).一种栅型结构微机械陀螺的研究.中国机械工程(03). |
| MLA | 熊斌,et al."一种栅型结构微机械陀螺的研究".中国机械工程 .03(2003). |
入库方式： OAI收割
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